Бип ИМС с диэлектрическиой изоляцией ЭПИК методом

Бип ИМС с диэлектрическиой изоляцией ЭПИК методом 1 Анализ особенностей структуры, патентные исследования 2 Анализ типовых маршрутов изготовления ИМС 3 Анализ методов производства структур ИМС 4 Анализ оборудования для производства структур ИМС   5 Анализ методов контроля и условий производства структур ИМС 6 Разработка структурной схемы ТП 7 Разработка технологической документации на маршрут изготовления структур 8 Разработка спиральной схемы ТП изготовления структуры 9 Разработка направлений оптимизации ТП изготовления структуры 10 Охрана труда и окружающей среды Заключение   Литература